MEMS-Sensorik ist inzwischen so ausgereift, dass sie klassische IEPE-Sensoren für die vorausscheuende Wartung in elektrischen Antrieben ablösen können. Diese dreiteilige Artikelserie zeigt die Vorzüge, den Nutzen und die mögliche Kostenersparnis am Beispiel einer MEMS-Entwicklung.
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